電子部品や半導体の検査には、デジタルマイクロスコープが欠かせません。
特に、精密な検査を求められる分野では、高解像度のカメラや3D計測機能が重要です。
これらの機能により、欠陥や不具合を見逃さずに発見できるため、生産効率の向上や品質保証に大きく貢献します。
本記事では、デジタルマイクロスコープのさまざまな機能を活用した検査方法について詳しく紹介します。
電子部品・半導体の検査方法で用いる機能
弊社アクティブウェーブの製品であるMSX-1000を使用する際、電子部品・半導体の検査で用いる機能をご紹介します。
500万画素カメラによる高解像度
カメラの解像度は、標準の320万画素またはオプションで500万画素から選択可能です。
レンズ性能と組み合わせることで、高い解像度が実現されています。
3D計測機能
3D表示機能では、表面形状をリアルカラーで多角的に観察することが可能です。
また、高さ情報に基づくカラー表示やワイヤーフレーム表示も利用できます。
3D計測機能においては、任意のラインのプロファイル計測やポイントの高さ計測、表面の粗さ計測（Ra、Rz、Rzjis等）、さらに体積・表面積・断面積の各種計測も実施できます。
電子部品や半導体の検査での利用では、垂直観察では捉えられない立体的な観察が、この3D計測機能により可能となります。
計測結果はCSVファイルで保存可能、またExcelへの転送も可能です。これにより、レポート作成が迅速に行えます。
また、高さ情報を保持した状態でデータを保存しており、後からの再計測がいつでも可能です。
リアルタイム2D計測機能
ライブ画像上で距離、角度、半径、面積を含む業界トップクラスの30項目以上の計測が可能です。
マウスカーソルを対象物のエッジに近づけると、自動エッジ検出機能が作動し、計測ポイントが自動で合わせられます。
これにより、測定者の技量に左右されずに一貫した高精度な計測が実現可能です。
また、測定結果はCSVファイルで保存できるほか、Excelへの転送も可能で、これによりレポート作成が迅速に行えます。
マルチアングルスタンドによる180度全方位観察
スタンドは左右90度まで傾斜可能で、対象物を180度全方位から観察できます。
傾斜時に視野が移動しないユーセントリック性を実現しており、観察の精度を高めています。
さらに、標準のXY手動ステージに加え、XY・Z電動ステージと組み合わせることで、3D計測や2D/3D自動画像連結など、多彩な機能を自動操作で実行可能です。
高性能な照明技術
照明には、一般的な側射、同軸落射、透過照明をはじめ、4分割マルチ照明（全射、片射、1/4分割、対角）など、多様な照明オプションを提供しています。
また、各種ミックス照明、拡散照明、無反射照明、金属丸棒ワーク用の間接照明、低倍率用の広域同軸落射など、特定の用途に最適な照明も選択できます。
これにより、従来の一般的な照明では捉えられなかった詳細が見えるようになります。
さらに、全射と同軸落射、片射と透過照明のようなミックス光を含む、様々な照明の組み合わせや調光が専用コントローラによって一元管理できます。
高性能なレンズ
弊社のデジタルマイクロスコープでは以下のような高性能なズームレンズを用意しています。
・高性能ズームレンズ（0～5000倍）
・超長距離ズームレンズ（観察距離100～400mm）
・赤外ズームレンズ（50～1800倍）
・電動ズームレンズ（25～5000倍）
・ボアレンズ（φ2.7～φ4mm）など
40種類以上の豊富なレンズラインナップから、お客様のニーズに合わせた最適なレンズを、コンサルティングを通じて提案いたします。
アクティブウェーブのデジタルマイクロスコープとは
弊社が提供するデジタルマイクロスコープは、高性能でありながらコストパフォーマンスの高い製品です。
今回ご紹介した機能は、すべて弊社の製品であるデジタルマイクロスコープ・MSX-1000に搭載されています。
このデジタルマイクロスコープの魅力は、細かい部分までクリアに映し出すことができる高解像度カメラと、高倍率で高い性能を持つレンズにあります。
具体的には、500万画素の高品質カメラを装備しており、レンズと組み合わさることで、非常に高い解像度の画像を得ることができます。
レンズについては、最大7000倍の倍率をカバーし、40種類以上からお客様のニーズに合わせたレンズを選ぶことが可能です。
加えて、多機能性にも優れており、2D計測やハレーション除去などの基本機能から3D計測機能、自動形状計測に至るまで、様々なニーズに応えられる幅広い機能を使うことができます。
エントリーレベルからハイエンドモデルまで、幅広い仕様の中から、お客様の要求に応じたデジタルマイクロスコープの選択が可能で、あらゆる詳観察ニーズに応えることができる製品です。
デジタルマイクロスコープについて、詳細を知りたい方は「デジタルマイクロスコープとは」という記事をご確認してください。
まとめ
デジタルマイクロスコープを用いた電子部品や半導体の検査は、製品の品質向上と生産効率の向上に欠かせません。
アクティブウェーブのMSX-1000は、その優れた機能により、精密な検査を実現します。
以下に、本記事で紹介した主な機能をまとめます。
・高解像度カメラ: 標準の320万画素、オプションの500万画素の高品質カメラにより、試料の詳細まで鮮明に観察可能。
・3D計測機能: 表面形状をリアルカラーで様々な角度から観察でき、各種計測も簡単に行える。
・ハレーション除去/HDR機能: 高階調のデータを持つ画像生成により、コントラストのはっきりした鮮明な画像が得られる。
・リアルタイム2D計測機能: ライブ画像上で正確な距離、角度、面積などの計測が可能。
・マルチアングルスタンド: 180度全方位観察ができ、視野の移動がないため正確な観察が可能。
・高性能な照明技術: 様々な照明オプションにより、従来の方法では見えなかった部分も詳細に観察可能。
・高性能なレンズ: 最大7000倍の倍率をカバーし、40種類以上のレンズからニーズに合ったものを選択可能。
これらの機能により、MSX-1000は、電子部品や半導体の欠陥検出、品質管理に大きく貢献します。
詳しい情報はMSX-1000の製品ページをご確認ください。